- Gloveboxes
Gloveboxes
- Vigor gloveboxes
Vigor gloveboxes
- Standard gloveboxes
- Cleanroom gloveboxes
- Pompen
Pompen
- Diffusiepompen
Diffusiepompen
- Diffstak serie
- nHT serie
- Semiconductor pompen
- Multiroots vacuümpompen
Multiroots vacuümpompen
- nXR serie
- Industriële pompen
Industriële pompen
- GXS serie
- Industriële serie
- Atex serie
- Droogpompen
- UHV pompen
UHV pompen
- HyTan
- IGP
- Digital controller
- NEG
- TSP
- Cryopompen
Cryopompen
- Waterpumps
- OnBoard
- Compressors
- Cryotorr
- Membraanpompen
Membraanpompen
- MPC serie
- Atex serie
- D-lab serie
- LVS serie
- RV vacuümpompen
RV vacuümpompen
- RV serie
- EM Vacuümpompen
EM Vacuümpompen
- E2M serie
- nXDS Scrollpompen
nXDS Scrollpompen
- nXDS serie
- XDS serie
- Turbopompen
Turbopompen
- STPiS serie
- STPiX serie
- nEXT serie
- Toebehoren
Toebehoren
- Vacuümolie
Vacuümolie
- Ultragrade performance vacuum olie
- Spares
- Instrumentatie
Instrumentatie
- AIM200 serie
- Barocel serie
- APG200 serie
- WRG200 serie
- Onderhoud
- Documentatie
Semiconductor pompen
iXL serie
De iXL-serie is een reeks compacte droogpompen met laag energieverbruik voor lichtere toepassingen zoals PVD en metrologie.
De pompen uit de iXL serie behoren tot de kleinste en stilste pompen die beschikbaar zijn voor lichtere toepassingen. Ze bieden een snelle afpomping van de kamer met een uitzonderlijk laag energieverbruik.
De ‘Green Mode’ zorgt voor een verminderd gebruik van nutsvoorzieningen tijdens inactieve perioden, wat de kosten verlaagt en helpt bij het verbeteren van uw milieuprestaties.
-
Betrouwbaar
-
Kostenreductie
-
Energiebesparend
Product variaties
iXL120
Productomschrijving
Semiconductor
iXL600
Productomschrijving
Semiconductor
iXL1000
Productomschrijving
Semiconductor
iXL120
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
1.5x10-3mbar
Capaciteit
120 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXL600
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
7.5x10-3mbar
Capaciteit
600 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXL1000
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
3.7x10-3mbar
Capaciteit
1000 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN