Semiconductor pompen

iXL serie

De iXL-serie is een reeks compacte droogpompen met laag energieverbruik voor lichtere toepassingen zoals PVD en metrologie.

De pompen uit de iXL serie behoren tot de kleinste en stilste pompen die beschikbaar zijn voor lichtere toepassingen. Ze bieden een snelle afpomping van de kamer met een uitzonderlijk laag energieverbruik.

De ‘Green Mode’ zorgt voor een verminderd gebruik van nutsvoorzieningen tijdens inactieve perioden, wat de kosten verlaagt en helpt bij het verbeteren van uw milieuprestaties.

  • Betrouwbaar

  • Kostenreductie

  • Energiebesparend

iXL serie
iXL serie
iXL serie

Product variaties

iXL120

Productomschrijving

Semiconductor

iXL600

Productomschrijving

Semiconductor

iXL1000

Productomschrijving

Semiconductor

iXL120

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

1.5x10-3mbar

Capaciteit

120 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXL600

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

7.5x10-3mbar

Capaciteit

600 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXL1000

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

3.7x10-3mbar

Capaciteit

1000 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

Altijd op de hoogte via onze

Maandelijkse nieuwsbrief