Semiconductor pompen

iXL serie

De iXL-serie is een reeks compacte droogpompen met laag energieverbruik voor lichtere toepassingen zoals PVD en metrologie.

De pompen uit de iXL serie behoren tot de kleinste en stilste pompen die beschikbaar zijn voor lichtere toepassingen. Ze bieden een snelle afpomping van de kamer met een uitzonderlijk laag energieverbruik.

De ‘Green Mode’ zorgt voor een verminderd gebruik van nutsvoorzieningen tijdens inactieve perioden, wat de kosten verlaagt en helpt bij het verbeteren van uw milieuprestaties.

  • Betrouwbaar

  • Kostenreductie

  • Energiebesparend

iXL serie
iXL serie
iXL serie

Product variaties

iXL120

Productomschrijving

Semiconductor

iXL600

Productomschrijving

Semiconductor

iXL1000

Productomschrijving

Semiconductor

iXL120

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

1.5x10-3mbar

Capaciteit

120 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXL600

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

7.5x10-3mbar

Capaciteit

600 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXL1000

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

3.7x10-3mbar

Capaciteit

1000 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXL Serie semiconductor pompen van Edwards

Bij Acclon Technologies vindt u de geavanceerde iXL-serie van Edwards – toonaangevende droge vacuümpompen ontworpen voor toepassingen in de semiconductor-industrie. Deze pompen combineren een compact ontwerp met uitzonderlijke prestaties, lage geluidsniveaus en een zeer laag energieverbruik. Ideaal voor toepassingen waar betrouwbaarheid, efficiëntie en minimale footprint cruciaal zijn.

Beschikbare modellen:

  • Edwards iXL120
  • Edwards iXL600
  • Edwards iXL1000

Voordelen van de iXL Serie:

  • Energiezuinig ontwerp: Verbruikt aanzienlijk minder energie dan vergelijkbare modellen in zijn klasse.
  • Betrouwbare prestaties: Ontworpen voor 24/7 gebruik in veeleisende productieomgevingen.
  • Lage onderhoudskosten: Dankzij het olievrije ontwerp en lange onderhoudsintervallen.
  • Compact en stil: Maakt integratie in cleanrooms en productieopstellingen eenvoudig.

Deze pompen zijn speciaal ontwikkeld om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie, waaronder toepassingen in ion implantatie, plasma etching en wafer processing.

Welke iXL-pomp past bij uw toepassing?

iXL120
De kleinste uit de serie, maar krachtig genoeg voor lichte toepassingen zoals load lock pumping en algemene procesondersteuning. Ideaal voor labs en pilotlijnen waar ruimtebesparing belangrijk is.

iXL600
Een populaire keuze in de industrie voor medium-load processen. Combineert efficiëntie met robuustheid en is geschikt voor toepassingen zoals etsen en CVD-processen.

iXL1000
Het topmodel binnen de serie. Biedt maximale pompcapaciteit en betrouwbaarheid voor zwaardere toepassingen, inclusief high-throughput productie-omgevingen.

Waarom kiezen voor Acclon Technologies?

Als specialist in vacuümtechniek bieden wij onze klanten technisch advies op maat, gecombineerd met volledige ondersteuning bij installatie en onderhoud op locatie. We leveren uitsluitend originele Edwards producten en onderdelen, zodat u verzekerd bent van kwaliteit en betrouwbaarheid. Daarnaast investeren we in kennisdeling via onze eigen Acclon Academy, waar we trainingen verzorgen voor uiteenlopende niveaus en toepassingen. Op deze manier zorgen we er samen voor dat u de juiste keuzes maakt en het maximale uit uw vacuümsysteem haalt.

Altijd op de hoogte via onze

Maandelijkse nieuwsbrief