Wij bedienen de markt

Semiconductor

Een omgeving voor innovatie

De uitdagingen van prestaties, veiligheid en naleving van milieuvoorschriften kunnen ontmoedigend zijn. Onze wereldwijde leidende positie in vacuüm- en gasverwerking voor de fabricage van halfgeleiders is gebaseerd op onze wereldwijde kennisbasis door ervaring, informatie en gegevens, die gedurende tientallen jaren zijn verzameld.

Dit betekent dat wij onze klanten kosteneffectieve oplossingen bieden om de efficiëntie te verbeteren, milieudoelstellingen te halen en de totale eigendomskosten van apparatuur te verlagen, allemaal gedreven door een cultuur van voortdurende innovatie.

Wij streven er voortdurend naar om de uitdagingen van onze klanten op het gebied van vacuüm- en milieuvereisten te begrijpen. Wij zijn trots op onze erkende wereldwijde positie als toonaangevende leverancier van milieu- en vacuümoplossingen ter ondersteuning van de productiviteitsdoelstellingen van onze klanten.

Lagere bedrijfskosten en meer uptime

Onze producten zijn ontworpen om u te helpen procesbesparingen op lange termijn te realiseren en duurzame bedrijfspraktijken te ontwikkelen. De innovatieve technologieën die wij hebben ontwikkeld, hebben het gebruik van vacuüm voor industriële toepassingen bevorderd, de kapitaalkosten verlaagd, de operationele efficiëntie verbeterd en de gevolgen voor het milieu verminderd.

Pompsystemen kunnen compleet met uitlaatgasafzuiging worden geïntegreerd voor kant-en-klare levering en machine-integratie.

Voorbeelden van toepassingen voor semiconductoren

Onze pompen worden veel gebruikt bij de productie van halfgeleiders, zoals:

  • CVD, ALD, PECVD en andere depositieprocessen
  • Ionenetsen
  • Implanteerprocessen
  • Epitaxy processen
  • Uitgloeien
  • MBE-processen