- Gloveboxes
Gloveboxes
- Vigor gloveboxes
Vigor gloveboxes
- Standard gloveboxes
- Cleanroom gloveboxes
- Pompen
Pompen
- Diffusiepompen
Diffusiepompen
- Diffstak serie
- nHT serie
- Semiconductor pompen
- Multiroots vacuümpompen
Multiroots vacuümpompen
- nXR serie
- Industriële pompen
Industriële pompen
- GXS serie
- Industriële serie
- Atex serie
- Droogpompen
- UHV pompen
UHV pompen
- HyTan
- IGP
- Digital controller
- NEG
- TSP
- Cryopompen
Cryopompen
- Waterpumps
- OnBoard
- Compressors
- Cryotorr
- Membraanpompen
Membraanpompen
- MPC serie
- Atex serie
- D-lab serie
- LVS serie
- RV vacuümpompen
RV vacuümpompen
- RV serie
- EM Vacuümpompen
EM Vacuümpompen
- E2M serie
- nXDS Scrollpompen
nXDS Scrollpompen
- nXDS serie
- XDS serie
- Turbopompen
Turbopompen
- STPiS serie
- STPiX serie
- nEXT serie
- Toebehoren
Toebehoren
- Vacuümolie
Vacuümolie
- Ultragrade performance vacuum olie
- Spares
- Instrumentatie
Instrumentatie
- AIM200 serie
- Barocel serie
- APG200 serie
- WRG200 serie
- Onderhoud
- Documentatie
Semiconductor pompen
iXH serie
De iXH serie vestigt nieuwe standaarden in termen van krachtige procescapaciteit, betrouwbaarheid en kostenreductie. Het uitgebreide temperatuurbereik maakt nauwkeurige afstelling van de pomp mogelijk om ophoping van bijproducten door condensatie en bedekking te minimaliseren.
Onze verbeterde semiconductor pompen verlengen de levensduur zelfs onder de meest uitdagende omstandigheden en leveren aanzienlijke voordelen op het gebied van energie-efficiëntie.
Door gebruik te maken van onze vernieuwende pompaflsuitingstechnologie kunt u de levensduur van uw processen vergroten en het risico op lekkage verminderen.
Bovendien zijn ze uitgerust met XCEDE technologie voor superieure corrosiebestendigheid.
-
Betrouwbaar
-
Kostenreductie
-
Energiebesparend
Product variaties
iXH100
Productomschrijving
Semiconductor
iXH200H
Productomschrijving
Semiconductor
iXH610
Productomschrijving
Semiconductor
iXH1210
Productomschrijving
Semiconductor
iXH1820
Productomschrijving
Semiconductor
iXH100
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
1.5x10-3mbar
Capaciteit
100 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXH200H
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
7.5x10-3mbar
Capaciteit
200 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXH610
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
3.7x10-3mbar
Capaciteit
600 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXH1210
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
3.7x10-3mbar
Capaciteit
1200 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN
iXH1820
Productomschrijving
Semiconductor
Eindvacuüm
3.7x10-3mbar
Capaciteit
1800 m3/uur
Toepassing
Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN