Semiconductor pompen

iXH serie

De iXH serie vestigt nieuwe standaarden in termen van krachtige procescapaciteit, betrouwbaarheid en kostenreductie. Het uitgebreide temperatuurbereik maakt nauwkeurige afstelling van de pomp mogelijk om ophoping van bijproducten door condensatie en bedekking te minimaliseren.

Onze verbeterde semiconductor pompen verlengen de levensduur zelfs onder de meest uitdagende omstandigheden en leveren aanzienlijke voordelen op het gebied van energie-efficiëntie.

Door gebruik te maken van onze vernieuwende pompaflsuitingstechnologie kunt u de levensduur van uw processen vergroten en het risico op lekkage verminderen.
Bovendien zijn ze uitgerust met XCEDE technologie voor superieure corrosiebestendigheid.

  • Betrouwbaar

  • Kostenreductie

  • Energiebesparend

iXH serie
iXH serie
iXH serie
iXH serie
iXH serie

Product variaties

iXH100

Productomschrijving

Semiconductor

iXH200H

Productomschrijving

Semiconductor

iXH610

Productomschrijving

Semiconductor

iXH1210

Productomschrijving

Semiconductor

iXH1820

Productomschrijving

Semiconductor

iXH100

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

1.5x10-3mbar

Capaciteit

100 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXH200H

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

7.5x10-3mbar

Capaciteit

200 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXH610

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

3.7x10-3mbar

Capaciteit

600 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXH1210

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

3.7x10-3mbar

Capaciteit

1200 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

iXH1820

Productomschrijving

Semiconductor

Eindvacuüm

3.7x10-3mbar

Capaciteit

1800 m3/uur

Toepassing

Semicon, high-k, low-k, SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN

Altijd op de hoogte via onze

Maandelijkse nieuwsbrief