Acclon Technologies

Vactec: Thin-film deposition en vacuümsystemen bij Acclon Technologies

Voor het aanbrengen van dunne materiaallagen zijn een stabiel vacuüm, nauwkeurige procescontrole en reproduceerbare resultaten essentieel. Maar welk depositieproces past bij uw toepassing? En welke vacuümtechnologie is daarvoor nodig?

Acclon Technologies werkt samen met Vactec, specialist in thin-film deposition en vacuümsystemen op maat. Vactec biedt oplossingen voor onder andere thermal evaporation, electron beam evaporation (e-beam) en andere depositietechnologieën.

Door de kennis van Vactec op het gebied van depositieprocessen te combineren met de vacuümtechnische expertise van Acclon, kunnen we klanten ondersteunen bij het selecteren, ontwerpen en integreren van een passende oplossing.ar de complete toepassing.

Waarom werkt Acclon met Vactec?

Vactec onderscheidt zich door specialistische kennis van thin-film deposition en een flexibele aanpak bij het ontwikkelen van vacuümsystemen.

Waar standaardoplossingen niet altijd aansluiten op de gewenste procescondities, kan Vactec systemen afstemmen op de toepassing. Denk aan specifieke eisen rondom laagdikte, uniformiteit, procescontrole, automatisering en reproduceerbaarheid.

De samenwerking sluit goed aan op de expertise van Acclon. Vactec richt zich op de depositietechnologie en het systeemontwerp, terwijl Acclon kennis en ondersteuning biedt op het gebied van vacuümpompen, meetinstrumentatie en andere vacuümcomponenten.

Zo kunnen we samen kijken naar de complete installatie in plaats van alleen naar afzonderlijke onderdelen.

vactec acclon partner

Vactec-producten en depositietechnologieën

COAT320 en COAT340 thermische opdampsystemen

De COAT320- en COAT340-series bestaan uit thermische belljar-opdampsystemen voor thin-film toepassingen.

Deze systemen zijn interessant voor toepassingen waarbij gecontroleerde laagvorming, reproduceerbaarheid en een passende vacuümomgeving belangrijk zijn.

Welke uitvoering geschikt is, hangt onder andere af van het te verdampen materiaal, de gewenste laagdikte en de eisen aan het proces.

PVD- en e-beam evaporatiesystemen

Vactec biedt daarnaast PVD- en electron beam evaporation-systemen, waaronder oplossingen uit de FC-serie en systemen van Ferrotec Temescal.

Deze systemen zijn relevant voor toepassingen waarbij nauwkeurige procescontrole, laagdikte-uniformiteit en reproduceerbare depositie belangrijk zijn.

Bij de selectie wordt onder andere gekeken naar het materiaal, de procesomstandigheden, de vereiste vacuümprestaties en eventuele automatiseringswensen.

Maatwerk vacuüm- en opdampsystemen

Niet ieder depositieproces past binnen een standaardconfiguratie.

Vactec ontwikkelt ook maatwerksystemen die worden ontworpen en gebouwd op basis van specifieke klantvereisten.

Dit kan interessant zijn wanneer een bestaande opstelling moet worden aangepast, apparatuur moet worden geïntegreerd of het depositieproces bijzondere eisen stelt aan de configuratie en besturing.

Welke depositietechnologie past bij uw toepassing?

De keuze voor een depositieproces hangt af van verschillende technische factoren.

Bij het selecteren van een oplossing kijken we onder andere naar:

  • het materiaal dat moet worden aangebracht;
  • de gewenste laagdikte;
  • de vereiste laagdikte-uniformiteit;
  • de gewenste reproduceerbaarheid;
  • de beschikbare of vereiste procestemperatuur;
  • het benodigde vacuümniveau;
  • de geometrie van de vacuümkamer;
  • de mogelijkheden voor procesregeling en automatisering.

Afhankelijk van deze eisen kan bijvoorbeeld thermal evaporation, e-beam evaporation of een andere depositietechnologie geschikt zijn.

Acclon ondersteunt bij het bepalen van de vacuümtechnische eisen en de selectie van een passende pompconfiguratie. Waar nodig stemmen we de technische mogelijkheden rechtstreeks af met Vactec.

Verschillende technologieën voor thin-film deposition

Thermal evaporation

Bij thermal evaporation wordt materiaal door verhitting verdampt, waarna het op een substraat kan neerslaan en een dunne laag vormt.

Bij de selectie van een thermisch opdampsysteem zijn onder andere het materiaal, de gewenste laagdikte, de geometrie en de procescontrole van belang.

Electron beam evaporation (e-beam)

Bij electron beam evaporation wordt een elektronenbundel gebruikt om het bronmateriaal te verhitten en te verdampen.

Welke materialen en processen hiervoor geschikt zijn, hangt af van de technische eigenschappen van de toepassing en het gekozen systeem.

Atomic Layer Deposition (ALD)

ALD is een depositietechnologie waarbij dunne lagen via gecontroleerde, opeenvolgende oppervlaktereacties worden opgebouwd.

Ook deze technologie wordt genoemd binnen de expertise van Vactec. De specifieke mogelijkheden en beschikbare systeemconfiguraties moeten per toepassing worden afgestemd.

Waar worden Vactec-systemen toegepast?

Research & Development

Binnen onderzoek en ontwikkeling worden depositietechnologieën gebruikt voor het ontwikkelen, testen en analyseren van dunne materiaallagen.

Hierbij kunnen flexibiliteit, nauwkeurige procesinstellingen en reproduceerbare resultaten belangrijk zijn.

Halfgeleiderindustrie

Bij toepassingen binnen de halfgeleiderindustrie kunnen hoge eisen worden gesteld aan de eigenschappen, uniformiteit en reproduceerbaarheid van aangebrachte lagen.

Optica

Binnen optische toepassingen kan gecontroleerde dunnefilmdepositie worden gebruikt om materiaallagen met specifieke eigenschappen aan te brengen.

Zonne-energie

Bij onderzoek en ontwikkeling binnen zonne-energietechnologie kunnen dunne lagen een rol spelen in de opbouw en eigenschappen van materialen en componenten.

Materiaalkunde

Voor materiaalonderzoek kunnen depositieprocessen worden ingezet om nieuwe laagstructuren en materiaalcombinaties te ontwikkelen en te onderzoeken.

Een goed depositieproces vraagt om meer dan alleen een laag vacuüm

Een veelvoorkomend misverstand is dat het bereiken van een zo laag mogelijke druk automatisch leidt tot een beter depositieproces.

In werkelijkheid wordt het resultaat bepaald door meerdere factoren die op elkaar moeten worden afgestemd.

Denk bijvoorbeeld aan de afstand tussen bron en substraat, de depositiesnelheid, de geometrie van de vacuümkamer, de procesdruk, het gebruikte materiaal en de manier waarop het proces wordt geregeld.

Ook de vacuümpomp speelt daarin een rol. Een pomp met goede specificaties op papier is niet automatisch de beste keuze voor iedere thin-film toepassing.

Daarom kijkt Acclon bij de selectie van vacuümtechnologie niet alleen naar de einddruk van een pomp, maar naar de eisen van het complete depositieproces.

Uit de praktijk: een bestaande glovebox uitbreiden met een thermal evaporator

Een praktijkvoorbeeld van Vactec laat zien dat voor nieuwe procesmogelijkheden niet altijd een volledig nieuwe installatie nodig is.

Vactec heeft een bestaande MBraun-glovebox uitgebreid met een thermal evaporator.

De uitbreiding omvatte onder andere:

  • twee verdampingsbronnen;
  • een roterende samplehouder;
  • een geautomatiseerd evaporatieproces;
  • PLC-besturing.

Dit voorbeeld laat zien hoe bestaande onderzoeksapparatuur kan worden aangepast en uitgebreid om aan nieuwe proceseisen te voldoen.

Het illustreert bovendien hoe thin-film deposition kan worden gecombineerd met een gloveboxomgeving.

Dit betreft een projectvoorbeeld van Vactec en wordt niet gepresenteerd als een door Acclon uitgevoerd project.

vactec

Wat voegt Acclon toe aan Vactec-technologie?

Bij thin-film deposition is het vacuümsysteem een belangrijk onderdeel van de totale procesinstallatie.

Acclon ondersteunt bij het bepalen welke vacuümtechnologie nodig is en hoe verschillende componenten technisch op elkaar moeten aansluiten.

Daarbij kunnen we onder andere adviseren over:

  • selectie en levering van vacuümpompen;
  • vacuümmeetinstrumentatie;
  • lektestapparatuur;
  • vacuümcomponenten en aansluitingen;
  • technische configuratie van het vacuümsysteem;
  • engineering en integratie;
  • technische begeleiding en training.

Door onze ervaring met vacuümpompen, vacuümmeting en complete vacuümsystemen kunnen we verder kijken dan de specificaties van afzonderlijke componenten.

Samen met Vactec werken we aan oplossingen waarbij het vacuümsysteem en het depositieproces technisch op elkaar zijn afgestemd.

acclon en vactec samenwerking

Veelgestelde vragen over Vactec en thin-film deposition

Wat is het verschil tussen thermal evaporation en sputter deposition?

Bij thermal evaporation wordt materiaal verdampt en vervolgens op een substraat afgezet. Bij sputter deposition worden atomen uit een bronmateriaal vrijgemaakt door bombardement met energetische deeltjes. Beide processen kunnen dunne lagen vormen, maar verschillen in werkingsprincipe en procescondities. De juiste keuze hangt af van het materiaal en de gewenste eigenschappen van de laag.

Welke afstand tussen bron en substraat is nodig voor een uniforme laagdikte?

Er bestaat geen universele afstand die voor iedere toepassing optimaal is. De benodigde afstand hangt onder andere af van de geometrie van de kamer, de positie van de bron, de substraatgrootte, de depositiesnelheid en de gewenste laagdikte-uniformiteit. Deze factoren moeten gezamenlijk worden beoordeeld bij het ontwerp van de installatie.

Welke materialen kunnen met thermal evaporation of e-beam worden opgedampt?

De geschiktheid van een materiaal hangt af van de eigenschappen van het materiaal, de gekozen depositietechnologie en de beschikbare systeemconfiguratie. Niet ieder materiaal is onder dezelfde procescondities geschikt voor beide technieken. Daarom wordt de materiaalkeuze meegenomen bij de selectie van het systeem.

Welke hoogvacuümpomp heb ik nodig voor thin-film deposition?

Dat hangt af van onder andere het vereiste vacuümniveau, de procesomstandigheden, het gasaanbod, de kamerinhoud en de gewenste afpomptijd. Acclon kan helpen bij het selecteren van een pompconfiguratie die aansluit op het complete depositieproces.

Welk vacuüm is nodig voor PVD?

Het benodigde vacuümniveau verschilt per PVD-techniek, materiaal en proces. Daarbij kan onderscheid bestaan tussen de druk tijdens het depositieproces en de druk die voorafgaand aan het proces moet worden bereikt. De vereiste vacuümcondities moeten daarom per toepassing worden bepaald.

Advies over Vactec thin-film deposition en vacuümsystemen

Wilt u een nieuw opdampsysteem selecteren, een bestaande installatie uitbreiden of bepalen welke vacuümconfiguratie geschikt is voor uw thin-film toepassing?

Acclon denkt met u mee over de benodigde vacuümtechnologie, componenten, meetinstrumentatie en technische integratie. In samenwerking met Vactec kunnen we de mogelijkheden voor een passende depositieoplossing onderzoeken.